光學測試
a.波前畸變測量
設備名稱:數字式波面干涉儀
測試波長范圍:633nm和1064nm
測試尺寸范圍:Φ3mm~10mm×20mm~150mm@1064nm;
Φ3~100mm×250mm@633nm
測量精度:λ/12@1064nm;
λ/20@633nm
應用范圍:測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體波前畸變,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
b.消光比測量:
設備名稱:消光比測試系統
測試波長范圍:633nm和1064nm
測試尺寸范圍:Φ3mm~10mm×250mm
測量誤差:≤±5%
應用范圍:測量能夠透過1064nm光和633nm光的晶體的消光比,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。
c.角度測量:
設備名稱:高精度測角儀
測試范圍:直徑≥Φ3mm
測量精度: ≤0.3"
應用范圍:測量具有一定反光率的平面固體的幾何角度,例如:晶體棱鏡,金屬多面體等。
d.面型測量:
設備名稱: ZYGO平面干涉儀
測試范圍:Φ3mm~100mm
測量精度:≤λ/20@633nm
應用范圍:晶體樣品的表面加工面型的精確測量。
e.應力測量:
設備名稱:DIAS-1600數字式應力儀
測試范圍:Φ5mm~60mm
測量精度:±6nm
應用范圍:測量樣品的微量應力大小及應力分布。
f.光譜測量:
設備名稱:LAMBDA950分光光度計
測量范圍:
波長范圍:185nm~3300nm,
尺寸范圍:Φ3mm~20mm×40mm@透過率
Φ5mm~20mm×90mm@反射率
測量精度:±0.1nm
應用范圍:樣品0-60度透過率的測量,樣品6-68度反射率的測量,樣品漫反射測量,偏振光p和s光的透過和反射測量。
g.激光損傷閾值測試
設備名稱:抗光損傷閾值測試系統
測量范圍:
波長:1064nm,
脈寬:10ns,
功率密度:600MW/cm2 ~ 2000 MW/cm2
功率波動:≤±5%
應用范圍:膜層抗光損傷閾值的測量,晶體材料抗光損傷的測量。
h.單程損耗測試
設備名稱:單程損耗測試系統
測量范圍:
波長范圍:1064nm
尺寸范圍:Φ4mm~20mm×250mm
測量誤差:≤±10%
應用范圍:測量晶體材料在1064nm波長激光單次通過后造成的光能量損耗。